半导体晶体生长炉传动部件(精密行星减速机系列)
半导体行业减速电机
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内置电磁离合器的一体式行星齿轮变速箱, 适用于半导体级晶体生长炉。
◆ 双减速比:
◆ 额定功率:50W
◆ 输入输出扭矩:3N.M / 5N.M / 7.5 N.M / 10N.M
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高精度 · 高可靠性
双速减速机系列
内置电磁离合器的一体式行星齿轮变速箱, 适用于半导体级晶体生长炉。
◆ 双减速比:
◆ 额定功率:50W
◆ 输入输出扭矩:3N.M / 5N.M / 7.5 N.M / 10N.M




